臺式掃描電鏡在觀察照射物體的細電子束掃描時，觀察的三維結構的表面（形狀）。一般來說，用掃描電鏡是一個單向觀察圖像，使圖像是相同的圖像平面與單眼觀察。為了得到一個三維圖像，該方法是通過傾斜的載體，從不同的角度分別獲得同等的右眼和左眼觀察觀察靜止圖像（視差圖像）和合成，所以戴上紅藍眼鏡。但這種方法需要時間，也需要調整視差圖像，所以它不能實時觀察樣品的掃描電鏡圖像。
這時發達的邊緣交換機照射試樣的電子束角和高速掃描技術，成功實現了左右視差圖像瞬時訪問。具體做法使用電磁透鏡的會聚作用，使電子束傾斜。然而，連接器電子束傾斜伴隨像差會導致較低的分辨率。這一任務發展致力于發展電子光學系統和光束掃描控制技術以及使用的技術部分。
臺式電鏡在失效分析中，除了金屬樣品外，還有很多非金屬樣品，這些樣品導電性很差。要分析這些非導電樣品，樣品的充電是不可避免的。由于電子束打到樣品上使樣品帶電，其產生的電場影響了二次電子的產生和接收，使圖像上呈現一片片亮的或暗的區域，無法進行正常觀察。要對這些非導電樣品進行分析，就必須排除樣品充電的影響。其方法之一就是將樣品上的電荷中和掉。
臺式掃描電鏡所采取的措施是：
使樣品室處于低真空狀態，樣品表面所產生的二次電子與樣品室中的氣體分子相碰撞，使氣體電離，這些氣體離子附著于樣品表面，將樣品上所帶的電荷中和掉。使用專門的探測器，接收二次電子與氣體分子相碰撞時產生的光子，這些光子也就代表了二次電子信號，使成像不受樣品導電性的影響，在分析這些樣品時能夠得到理想的成像。
臺式掃描電鏡對一些含水、含油的樣品，可以采用更低的真空度，使水分在該壓力、溫度下不至于揮發，這樣便可觀察到真實的生物樣品形貌。
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